真空(kōng)泵是指利用機械、物理、化(huà)學或物理化學的(de)方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空(kōng)的器(qì)件或設備。通俗來講,真空泵是用(yòng)各種方法(fǎ)在某一封閉空間中改善、產生和維持(chí)真空的裝置。
按真空泵的(de)工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用於冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
1. 物(wù)理法
使用(yòng)物理法進行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑(jì)泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大麵(miàn)積的吸附(fù)劑覆蓋吸附的方式獲取真空,是一種捕集真空裝置;吸氣劑泵則是利用吸氣(qì)劑(一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在)捕獲(huò)氣體,進行抽真空(kōng);吸氣劑離子泵將氣體電離,再通過電場、磁場的作用達到吸附在材料表麵的目的,從而實現抽氣,又分為兩種,一(yī)種是蒸(zhēng)發離(lí)子泵,被電(diàn)離的氣體持續或者以(yǐ)間斷的升華從而被吸附,另外一種是濺射離子泵,被電離的離子,被吸附在由陰極持續濺射出來的吸氣材料上,實現吸氣。
2. 機械法
使用機械法(fǎ)抽真空的也有兩種類型的泵,一種是變容真空泵,一種動量傳輸泵。變容(róng)真空(kōng)泵通過泵的容腔容積的變化完成吸(xī)氣(qì)和排(pái)氣(qì)的過程,達到(dào)抽氣(qì)的目的,分(fèn)為複式和旋轉式兩種。
還有就是動量(liàng)傳輸泵,通過高速(sù)旋(xuán)轉的葉片或者高速的射流(liú),氣體分子接收到這種動量,這種動量將氣體連續的輸送,包括分子真空泵、水蒸汽噴射泵以及(jí)擴散泵等。
無論是物理法還是機(jī)械法獲取(qǔ)真空,油封式真空泵都需要使用真空泵過濾器,才能符合環保部門的排放標準。