真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得(dé)真空的器件或設備。通俗(sú)來講,真空泵是用各種方法在某一封(fēng)閉空(kōng)間(jiān)中(zhōng)改善、產生和維持真空的裝置(zhì)。
1、在較寬的壓力範圍內有較大的抽速;
2、轉子具有(yǒu)良好(hǎo)的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體(tǐ)間均有間隙,不用潤滑,摩(mó)擦損失小,可大大降低(dī)驅動功率,從而可(kě)實現較高轉(zhuǎn)速;
3、泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對(duì)真空係(xì)統的汙染;
4、泵腔內無壓縮,無排氣(qì)閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的(de)灰塵和水蒸汽不敏感;
5、壓縮比較(jiào)低,對(duì)氫氣抽氣效果差;
6、轉子表麵為形狀較為複雜的曲線柱麵,加工(gōng)和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內外(wài)得到較快的發展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了廣泛的應用